検査体制

実体顕微鏡検査

倍率は数倍～60倍程度に対応しており、主に部品にキズがないかや外観の詳細を検査、確認いたします。
観察対象太とレンズ間距離が広いため、安全に精密検査を実施することが可能です。

測定顕微鏡検査

光学顕微鏡の中でも寸法測定が可能なタイプです。検査倍率はx50～1000に対応しており、分解能は0.5um程度までの精密寸法測定が可能です。主に製品の寸法検査と、外観検査を行う際に併用しております。

画像寸法測定器

この測定器はステージに観察対象を設置後ボタンを押すだけで一度に沢山の箇所の寸法を測定することが可能です。
試作品など小ロットの製品は上記の測定顕微鏡を用いて精密測定することがありますが、量産製品や決まった測定方法を繰り返す場合などには効率的な測定器です。

走査型電子顕微鏡

光学式の顕微鏡で検査が難しい製品についてはさらに高倍率の検査を実施しております。弊社は電子顕微鏡の部品を製作しているため、走査電子顕微鏡の扱いには慣れております。 また、弊社の電顕にはEDX（エネルギー分散型X線分析）を搭載しておりますので、元素分析が可能です。EDXでは、素材の成分や、部品に付着したコンタミ（異物）から検出される特性X線を解析可能な設備です。

真空リーク検査

真空部品の中でも、大気と真空との遮蔽性が必要なものは真空漏れがないかを検査する必要があります。
弊社では、Heリークディテクタを活用することで、真空漏れのチェックをしております。