精密洗浄

当社の精密洗浄・特殊洗浄について

当社は電子顕微鏡のシボリ穴（アパーチャー）を得意としております。また、真空部品であるため、脱ガス処理が必要な場合もありますが、当社では全数検査を実施することでそのすべてに対応しています。洗浄・検査が完了した部品は真空パックして納入させて頂きます。

Mo アパーチャーに付着した僅かな汚れを洗浄することで除去

大和テクノシステムズの精密洗浄・特殊洗浄の特徴

• 独自の洗浄技術を持っている。
• 洗浄後は顕微鏡を使用して全数検査を実施。
• 数mm程度の極小部品、厚さ0.01mmの薄い金属箔の洗浄にも対応可能。

当社では、電子ビームの絞り部品であるアパーチャープレートの精密洗浄を実施しています。
様々な加工方法で製作されたアパーチャープレートは、目視では清浄に見えても、高倍率で検査すると有機物や異物の付着などがあり、汚れている場合が通常です。
弊社ではそのような洗浄処理から、検査・出荷まで多数の実績がございます。得意とするのは小さな部品であり、指先から手のひらに収まる程度としております。

真空加熱処理

当社では真空加熱による加熱クリーニングにも対応しております。
真空チャンバー内に部品を入れた後に、数百度から1000度以上で加熱することで、表面清浄化を行っています。特にUHV（超高真空）環境で使用する部品は、事前に加熱処理をしておくことが推奨されますが、そういった処理にも対応しております。