EI方式の質量分析用電子源を製作しております。
ガスクロマト質量分析装置（GC-MS）のフィラメントを製作しております。電子イオン化（EI：electron ionization）方式のフィラメントは、当社の得意分野です。
大和テクノシステムズの手掛けるGCMS用フィラメント
製品写真
大和テクノシステムズの手掛けるGCMS用フィラメント製造サービス
- フィラメントコイル、アセンブリ部材の選定
- コストメリットの大きい、ろう付けを使わないセラミックベースのご提案
- 熟練工による条件を振った小数開発品の試作
- 生産治具作製による量産化
- 梱包形態、輸送方法に関するご提案
- 大量生産化、増産への対応
大和テクノシステムズのGCMS用フィラメントの特長
- 線径、巻径、巻数、ピッチ、自由な設計のコイルフィラメントで、安定した豊富なエミッションが得られます。材質もRe、Re-W、TaなどW以外の材料が可能です。
- シールドパーツも溶接。
- フィラメントの電極ピンには非磁性の高融点金属が好まれますが、当社ではTaなども選択可能です。シールド部品も、ピンに溶接づけが可能です。
GCMS用フィラメント製造に関するよくあるご質問
現在使っている装置用に作れますか？
開く装置メーカー様や販売店様へお問い合わせください。事業撤退などでサポートのない装置の場合、お客様の自己責任とはなりますが、再生などのご相談は受け付けていたしております。
タングステンフィラメントではGC-MSのガスと反応してしまい寿命が短い。
開くフィラメントと言えばタングステン（W）が一般的ですが、当社ではレニウム(Re)やレニウムータングステン合金（Re-W）、タンタル（Ta）などの耐食性が高い材料の加工も得意です。
非磁性で高融点の金属を使いたいが、溶接できる加工屋がみつからない。
開く高温に加熱できる材料は、溶接も難しくなります。様々なフィラメントを溶接してきた当社にご相談ください。
使用中にサグなどの変形でエミッションが安定しない。
開く同じ材質でも、加工技術で安定性が変わってきます。寸法形状だけでは分からない部分です。
装置開発段階で、設計変更に柔軟に対応して欲しい。
開くどうぞご相談ください。経験豊富な技術営業員が期待にお応えいたします。
ろう付け部品が高くて困っている。
開くガラス材での組付け部品がございます。耐熱性能が落ちますが、単価や納期では大幅に有利ですので、どうぞご検討ください。経験豊富な技術営業員が期待にお応えいたします。
急速に進化する半導体分野での
超ハイテク装置向け部品は
お任せください。
半導体プロセスの微細化や三次元化に伴い、製造装置も検査装置も急速に高度化が求められています。
描画装置、解析装置、検査装置、イオン注入装置、成膜装置などに用いられる高精度部品、特に荷電粒子線光学部品や、イオン化プロセス部品などでお困りでしたらご相談ください。脱磁焼鈍やスパッタ処理などを要する製品もお受けできます。
工業製品の生産ラインにも多くの
フィラメントが用いられています。
生活の中で身近な、食品を守るアルミコートされた袋や、SNSを映えさせるスマホレンズのコーティング、これらを製造する生産ラインには、フィラメントが多く使われています。
産業装置向けの電子線蒸着用大電流フィラメント、雰囲気制御用のセンシングフィラメント、品質低下の原因となるガスの放出を抑える熱処理や表面研磨を施した特殊部品など、社会の生活を豊かにする工業製品を支えています。また、当社微細孔加工技術は、微量ガスの制御、気圧調整のオリフィス、データサンプル用の人工欠陥などへも応用されています。