检查体系

光学显微镜检查

放大倍数从几倍到60倍不等，主要检查和确认零部件有无划痕以及外观细节。
观察对象与镜头之间有足够的空间，因此可以安全地进行精密检查。

测量显微镜检查

一种可以测量尺寸的光学显微镜。检查倍率从x50到1000不等，可进行分辨率低至0.5μm左右的精密尺寸测量。主要在产品的尺寸检查和外观检查时搭配使用。

图像尺寸测量仪

只需将观察对象放置在台架上，然后按下按钮，即可同时测量多个位置的尺寸。
虽然可以使用上述测量显微镜对试制品等小批量产品进行精密测量，但对于批量生产的产品或需要重复规定的测量方法的情况来说，使用图像尺寸测量仪更加高效。

扫描电子显微镜

可以在更高倍率下检查光学显微镜难以检查的产品。由于本公司制作电子显微镜的零部件，所以非常熟悉扫描电子显微镜的操作。此外，本公司的电子显微镜还配备了EDX（能量色散X射线光谱仪），可以进行元素分析。EDX能够分析材料成分以及从附着在零部件上的污染物（异物）中检测出的特征X射线。

真空泄漏检查

需要隔绝大气和真空的真空零部件必须检查有无发生真空泄漏。
本公司使用He检漏仪检查真空泄漏。