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电子源、X射线源用灯丝加工

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电子源和X线源用灯丝加工的焊接、组装技术、热处理

电子源和X线源用灯丝加工的焊接、组装技术、热处理

钨丝被广泛用作电子显微镜的电子源和分析设备的离子源或X射线源。
本公司制作的钨丝从材料选择到细丝加工、点焊、精密组装、真空热处理,凝聚了大量的技术和专业知识。

钨灯丝电子枪的结构和制造特征

熱電子銃の構造及び製造特徴
材质:W、Re-W、Re等

各种枪尖形状(尖头型、半尖头型、圆点型)

材质:Kovar、Mo、Ta
  • 可伐合金(Kovar)一种铁镍合金,可以用玻璃密封,因此广泛用于真空零部件。
  • 钼(Mo)一种非磁性高熔点金属,是电子光学的高级材料。通过金属化钎焊与陶瓷焊接。
  • 钽(Ta)与Mo一样,也是一种非磁性高熔点金属,是电子光学的高级材料。
材质:氧化铝(Al2O3)、块滑石(MgO-SiO)
细线与引脚的焊接:点焊
引脚与陶瓷的焊接:钎焊、玻璃密封
  • 钎焊 一种对陶瓷表面进行金属化处理,并通过钎焊进行接合和密封的方法。
  • 玻璃密封使用调整过热膨胀系数的玻璃(可伐合金玻璃)固定陶瓷和引脚。与钎焊相比,成本和交货时间更有优势,但对气密性和工作温度有一定要求。

通过点焊进行精密组装

制造灯丝时实施点焊。此时,可对灯丝性能中重要的同心度和平行度等几何公差以及高度、尺寸等尺寸公差进行高精度的组装。
点焊机使用本公司自主开发的灯丝焊接专用机,并准备了各种用于调整精度的工具和夹具,以实现精密组装。

预对中

将点焊好的灯丝固定在金属支架上,然后进行预对中调整。
为了获得足够明亮的电子束,灯丝必须相对于Wehnelt电极居中,因此将灯丝的前端居中是一道事关性能的重要工序。
本公司独自开发并使用专用的定心夹具,并在发货前通过投影机实施全面检查。

如果使用预对中灯丝,用户在更换灯丝时便无需进行中心对齐。使用Wehnelt电极一体型灯丝时,用户也无需清洁Wehnelt电极。
本公司还承接包含引出电极等的电子枪组件的批量组装和制造。

灯丝的热处理

此外,我们还拥有多种技术,例如将钨的尖端磨得像针一样锋利的尖锐加工方法以及线圈型灯丝的精密加工技术等。