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光阑

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近半个世纪以来,我们一直在为世界各地的电子显微镜制造商提供质量稳定、数量充足的产品。

近半个世纪以来,我们一直在为世界各地的电子显微镜制造商提供质量稳定、数量充足的产品。

简而言之,电子显微镜光阑就是带有微米级微孔的金属薄板。通过调整电子束直径,可以提高电子显微镜的分辨率,或去除会降低对比度的多余电子。虽然它只是一个小零部件,却对电子显微镜的性能起着重要作用。

电子显微镜(SEM、TEM、FIB)、半导体检查设备用高质量光阑的制造

利用我们擅长的超微孔加工技术,能够制作光阑和节流孔。
此外,利用我们独自开发的精加工处理和特殊清洗技术,能够去除纳米级的毛刺和污染物。作为主要用于SEM和TEM的电子束和X射线的光圈孔,深受信赖。

光阑

TEM用光阑

TEM用光阑

TEM用光阑

TEM用光阑

Mo 孔径0.006

Mo 孔径0.006

Mo 孔径0.005

Mo 孔径0.005

SUS 孔径0.01

SUS 孔径0.01

光阑包装照片

光阑包装照片

本公司制作的光阑

微孔放电加工

微孔放电加工

极小孔加工通常比较困难,但本公司通过自制极细放电电极,实现了直径最小为0.002的孔加工。

去除微小毛刺

去除微小毛刺

运用特殊的去毛刺技术,使微孔的内表面也能达到光滑效果。

精密清洗

精密清洗

运用特殊清洗技术,可以去除纳米级污染物。

镀锇膜技术

镀锇膜技术

利用等离子CVD法镀锇,形成稳定的导电薄膜。

大和テクノシステムズアパーチャーの特長

  • 无毛刺、突起、毛边。

    使用精选的高级材料进行加工,通过特殊的去毛刺技术去除孔中的毛刺。

  • 无污染物。

    采用大和独自开发的特殊清洗技术,彻底去除纳米级污染物。

  • 可进行真空烘烤处理。

    通过真空烘烤处理,使残留、溶解在材料表面或内部的气体分子气化,并从材料中分离出来。

  • 可镀锇。

    通过镀锇,可在光阑表面形成光滑且均匀的薄膜,防止表面带电现象(Charge up)。

  • 产品与脱氧剂和干燥材料一同真空包装发货。

    光阑是很薄的金属箔,如果包装状态不佳会导致破损或者形成氧化膜,对质量造成不良影响。本公司根据多年经验,开发了独有的包装方法。

  • 我们根据客户的要求,提出最合适的规格和加工方法。

    我们拥有多种加工技术,并储备了丰富的加工数据。可以根据您的用途和预算,提出加工方法和加工精度的建议。

  • 从圆形的固定光阑到多孔物镜光阑,加工范围广泛。

    从圆形固定光阑到多孔可调节光阑,均可对应。板厚范围广泛,从0.01t的薄板到数mm的厚板,最小孔径为φ0.001。

  • 孔径尺寸公差通常为孔径的±10%。最小公差为±1μm。

    孔径的尺寸公差取决于孔径的大小,但一般以孔径的±10%为标准。有关其他详细信息,欢迎垂询。

光阑的可制造范围

材质钼、钽、钨、铂、钛、不锈钢等
外形[mm]Φ2~
孔直径[mm]Φ0.001~
厚度[mm]t0.01~
材质钼、钽、钨、铂、钛、不锈钢等
长度[mm]10~
宽度[mm]4~
孔径[mm]Φ0.001~Φ2
孔形状直孔、沉孔
孔数1~20
板厚[mm]t0.01~

关于光阑制造的常见问题

贵公司能够绕过设备制造商直接销售产品吗?

開く

我们不能将厂家产品销售给第三方用户。由于是受托加工,所以我们要在收到图纸或听取您的要求后,承接从设计到制造的所有工作。

能够进行狭缝加工吗?

開く

视尺寸而定,通常能够处理。

能够加工哪种材质?

開く

主要是金属。可以加工Mo、Ta、W、Pt、Au、Ti、Ni、SUS、Al、Cu 及其合金。