近半个世纪以来,我们一直在为世界各地的电子显微镜制造商提供质量稳定、数量充足的产品。
简而言之,电子显微镜光阑就是带有微米级微孔的金属薄板。通过调整电子束直径,可以提高电子显微镜的分辨率,或去除会降低对比度的多余电子。虽然它只是一个小零部件,却对电子显微镜的性能起着重要作用。
电子显微镜(SEM、TEM、FIB)、半导体检查设备用高质量光阑的制造
利用我们擅长的超微孔加工技术,能够制作光阑和节流孔。
此外,利用我们独自开发的精加工处理和特殊清洗技术,能够去除纳米级的毛刺和污染物。作为主要用于SEM和TEM的电子束和X射线的光圈孔,深受信赖。
光阑
TEM用光阑
TEM用光阑
Mo 孔径0.006
Mo 孔径0.005
SUS 孔径0.01
光阑包装照片
本公司制作的光阑
大和テクノシステムズアパーチャーの特長
- 无毛刺、突起、毛边。
使用精选的高级材料进行加工,通过特殊的去毛刺技术去除孔中的毛刺。
- 无污染物。
采用大和独自开发的特殊清洗技术,彻底去除纳米级污染物。
- 可进行真空烘烤处理。
通过真空烘烤处理,使残留、溶解在材料表面或内部的气体分子气化,并从材料中分离出来。
- 可镀锇。
通过镀锇,可在光阑表面形成光滑且均匀的薄膜,防止表面带电现象(Charge up)。
- 产品与脱氧剂和干燥材料一同真空包装发货。
光阑是很薄的金属箔,如果包装状态不佳会导致破损或者形成氧化膜,对质量造成不良影响。本公司根据多年经验,开发了独有的包装方法。
- 我们根据客户的要求,提出最合适的规格和加工方法。
我们拥有多种加工技术,并储备了丰富的加工数据。可以根据您的用途和预算,提出加工方法和加工精度的建议。
- 从圆形的固定光阑到多孔物镜光阑,加工范围广泛。
从圆形固定光阑到多孔可调节光阑,均可对应。板厚范围广泛,从0.01t的薄板到数mm的厚板,最小孔径为φ0.001。
- 孔径尺寸公差通常为孔径的±10%。最小公差为±1μm。
孔径的尺寸公差取决于孔径的大小,但一般以孔径的±10%为标准。有关其他详细信息,欢迎垂询。
光阑的可制造范围
材质 | 钼、钽、钨、铂、钛、不锈钢等 |
外形[mm] | Φ2~ |
孔直径[mm] | Φ0.001~ |
厚度[mm] | t0.01~ |
材质 | 钼、钽、钨、铂、钛、不锈钢等 |
长度[mm] | 10~ |
宽度[mm] | 4~ |
孔径[mm] | Φ0.001~Φ2 |
孔形状 | 直孔、沉孔 |
孔数 | 1~20 |
板厚[mm] | t0.01~ |
关于光阑制造的常见问题
贵公司能够绕过设备制造商直接销售产品吗?
開く我们不能将厂家产品销售给第三方用户。由于是受托加工,所以我们要在收到图纸或听取您的要求后,承接从设计到制造的所有工作。
能够进行狭缝加工吗?
開く视尺寸而定,通常能够处理。
能够加工哪种材质?
開く主要是金属。可以加工Mo、Ta、W、Pt、Au、Ti、Ni、SUS、Al、Cu 及其合金。