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技術情報(オスミウムコーティング)
オスミウムコーティング

日米特許取得

特許第3117687号
特許第3664472号
特許第3954938号
US 6858263 B2

オスミウム製アパーチャープレート


究極の高分解能を誇るオスミウム製アパーチャープレート

  • アパーチャープレートは電子顕微鏡の心臓部と言われています。
  • 今お使いのアパーチャープレートのOsコートするだけで高分解能の世界が堪能できます。
  • FE電顕はもちろん測長SEM、描画装置、露光装置など高性能機種にはどうしても欠かせないOsアパーチャープレートです。
  • このたび開発したOsアパーチャープレートは高分解能を満たすためにいろいろな特性を生み出しました。
    1. 2次電子の放出量が増大になりました。
    2. しかも熱ダメージにも強く長寿命になりました。
    3. そして、更にチャージアップの完全防止が実現できたのです。
  • これらの特性は、部品交換メンテナンスのわずらわしさを解決し、ランニングコストの低減も可能にしたのです。
  • アパーチャープレート以外も是非ご相談下さい!
    絶縁物(セラミックス、樹脂等)にもコーティング可能です。

OsコートするならH2はかかせない!

自分でコートしなきゃなぁ・・お金がかかるなぁ・・内壁までコートしたいなぁ・・面倒だなぁ・・何かいい方法、ないかなぁ・・大和にはあります!!

従来品[Ptコート(PVD)、開発品[Osコート(PVD)

白金ターゲット、四酸化オスミウム雰囲気(気体)

OsO4+H2にすると・・・更に内壁まで均一なコーディングが!膜中酸素も減少!


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