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技術情報(エッチング加工)

私たちが、電顕用絞りプレートを丹誠こめて改革しました!

頑固なレジストをついに「完全除去」で
サッパリさせました!!
(PAT3117687)

もう、チャージアップの心配は無用です。
これからは、面倒な焼き出し、
コーティングのメンテナンスも不要です。

※但し、当社仕様製品に限ります。

私たちが、電顕用絞りプレートを丹誠こめて改革しました!

洗浄前

フォトエッチングが終わってから、光顕検査(200倍)ではわからなかったものが、1000倍、5000倍で見ると、レジストがこんなに残っているのがよくわかります。

洗浄前

汎用洗浄

そして従来の検査基準の200倍では洗浄前と比べて区別がつきませんが、1000倍、5000倍で見ると、乾いたレジストがまだとれていないのがはっきり見えます。

汎用洗浄

FE用洗浄

ところが特許仕様の特殊なFE用洗浄は、1000倍で見ても、そしてさらに5000倍で見てもハッキリとレジストが完全に取れているのがわかります。

FE用洗浄



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